Name: AMAT 0021-84842 - Шэньчжэнь Чансин
Brand: AMAT
Price: 999.00 CNY
Availability: InStock

Описание

Подробное описание продукта

[AMAT 0021-84842]— это специализированный запасной часть или модуль для технологического оборудования Applied Materials, такого как установки химического парофазного осаждения (CVD), атомно-слоевого осаждения (ALD), травления (Etch) или физического осаждения из паровой фазы (PVD). Компонент 0021-84842, судя по нумерации, может представлять собой электронный контроллер, блок управления клапаном, датчик позиционирования, плату интерфейса связи или механический узел (например, держатель для подложки, сопло). Его основная функция — обеспечение точности, воспроизводимости и контроля критически важного параметра технологического процесса внутри вакуумной камеры. Надежность компонента AMAT 0021-84842 напрямую влияет на качество получаемых полупроводниковых пластин или тонких пленок и, следовательно, на выход годных изделий (yield). Работа этого модуля, как правило, управляется специализированной версией ПЛК или компьютерной системой управления самого оборудования AMAT.

Технические параметры и характеристики

(Точные параметры строго специфичны для оборудования и должны быть взяты из Technical Data Sheet AMAT.)

Тип компонента: Запасная часть/модуль для оборудования Applied Materials. Точное назначение требует уточнения (например, ‘Gas Line Valve Controller’, ‘Sensor Module’, ‘RF Match Network Component’).
Функция: Управление, измерение или выполнение действия в рамках технологического рецепта.
Интерфейсы: Зависят от назначения (электрические разъемы, пневматические порты, оптические интерфейсы, крепления для монтажа в камере).
Материалы исполнения: Зачастую выполнены из специальных материалов, совместимых с высоким вакуумом, агрессивными химическими средами (precursors) и высокими температурами (например, нержавеющая сталь, алюминий с анодированием, керамика, специальные полимеры).
Точность и воспроизводимость: Ключевые параметры, определяемые требованиями техпроцесса (например, точность позиционирования в микронах, стабильность расхода газа в sccm, точность измерения температуры).
Совместимость: Предназначен для конкретной модели оборудования AMAT (например, Centura, Endura, Producer) и определенной версии узла (chamber kit).

Ключевые преимущества и особенности

Высокая точность и чистота: Компонент AMAT 0021-84842 спроектирован для работы в сверхчистых условиях (класс чистоты ISO 4-5) и обеспечивает минимальное выделение частиц (low particle generation), что критически важно для наноразмерных технологий.
Проверенная совместимость и надежность: Оригинальная запчасть гарантирует, что все характеристики (материальные, геометрические, электрические) полностью соответствуют оригинальной конструкции, обеспечивая воспроизводимость процесса и долгий срок службы.
Сохранение гарантии и поддержки производителя: Использование оригинальных компонентов AMAT, таких как 0021-84842, обычно является условием сохранения гарантии на оборудование и получения инженерной поддержки от сервисных инженеров Applied Materials.
Оптимизация для конкретного техпроцесса: Деталь разработана и протестирована для работы в специфических условиях конкретного технологического шага (определенные газы, давления, температуры, плазма), что обеспечивает стабильные результаты.
Глобальная доступность и логистика: Applied Materials имеет отработанную цепочку поставок запасных частей по всему миру, что минимизирует время простоя критически важного производственного оборудования.

Примеры применения в промышленности

Производство полупроводниковых пластин (кремниевых wafer): Замена компонента в модуле доставки газа (gas delivery system) установки CVD для осаждения диэлектрических или проводящих слоев.
Производство дисплеев (FPD): Обслуживание узла распыления мишени (sputtering target assembly) в установке PVD для нанесения прозрачных проводящих слоев (ITO).
Солнечная энергетика: Ремонт модуля нагревателя (heater assembly) в оборудовании для осаждения тонких пленок фотоэлектрических элементов.
Покрытие инструментов: Замена изношенного компонента в системе управления плазмой установки для нанесения износостойких покрытий на режущий инструмент.

Сравнение с аналогами

По сравнению с универсальными промышленными компонентами (клапанами, датчиками), модуль AMAT 0021-84842 является частью высокоинтегрированной и оптимизированной системы. Его главное отличие — это не функциональность, а уровень чистоты, точности и специализации под конкретную физико-химическую среду. Восстановленные (refurbished) или совместимые (compatible) детали от третьих сторон могут не обеспечивать требуемого уровня воспроизводимости процесса и могут вызвать загрязнение камеры, что приводит к миллионным убыткам из-за брака. Для поддержания технологического процесса на уровне мировых стандартов (ITRS) использование оригинальных компонентов AMAT зачастую является обязательным.